Категории
Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3

Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3

Мембранно-ёмкостные вакуумметры INFICON  серии SKY CDG025D - это высокоточные манометры с компенсацией температурных воздействий, которые созданы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования.

Отправить заявку
г. Киев, ул. Оранжерейная, 3, оф. 212
+38 (044) 227 - 40 - 20, +38 (050) 332 - 73 - 17

Предназначение

Мембранно-ёмкостные вакуумметры INFICON  серии SKY CDG025D - это высокоточные манометры с компенсацией температурных воздействий, которые созданы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования.

Краткое описание

Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики вакуумметра и упрощает управление им, например путем задания уставки и установки нуля нажатием одной кнопки. Конструкция датчика из коррозионностойкой сверхчистой керамики обеспечивает превосходную стабильность нуля на протяжении длительного срока службы – не менее 7 миллионов циклов изменения давления, допуская даже прорыв атмосферного воздуха. Уникальное экранирование датчика (подана заявка на патент) защищает вакуумметр от загрязнения технологической средой. Надёжная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долговременную стабильность и компенсацию температурных воздействий. Модель CDG025D задаёт новые стандарты быстроты для установления стабильного режима после подачи питания и восстановления после прорыва атмосферного воздуха.

 

Преимущества и отличия

  • Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр
  • Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания 
  • Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха 
  • Коррозионностойкий керамический датчик 
  • Превосходная долговременная стабильность сигнала 
  • Компенсация температурных воздействий 
  • Двойная защита датчика от загрязнения 
  • Установка нуля нажатием одной кнопки 
  • Широкий диапазон источников питания 
  • 2 уставки 
  • Интерфейс RS232 
  • Пригоден для эксплуатации в чистом помещении

Области применения

Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений: 
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение 
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов 
- Промышленное вакуумное оборудование 
- Высокоточное измерение давления

Почему мы?

  • Мы осуществляем официальные поставки оборудования в Украину
  • Гарантия: 12 месяцев. Предоставляем гарантийное и послегарантийное (сервисное) обслуживание
  • Оптимальное соотношение цены и качества

Цена, условия оплаты и доставки / Алгоритм работы

  1. Оставляете заявку на нашем сайте
  2. Мы связываемся с Вами в течении 3-х часов рабочего дня
  3. Наш менеджер консультирует Вас по выбранной Вами продукции
  4. Вы оформляете заказ

Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)

 

Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1)

Торр,

Па,

Мбар

1000

133,322

1333

100

13,332

133

10

1,333

13,3

1

133

1,3

0,1

13

0.13

Точность

% от показания

0,2

0,2

0,2

0,2

0,5

Тепловой эффект

Нуль

Диапазон

 

 

% F.S./°C

% от показания/°C

 

 

0,005

0,01

 

 

0,005

0,01

 

 

0,005

0,01

 

 

0,015

0,01

 

 

0,02

0,03

Разрешающая способность

% F.S.

0,003

0,003

0,003

0,003

0,003

Давление, макс.

кПа (абс.)

400

260

260

260

130

Время отклика(2)

мс

30

30

30

30

130/30(3)

Наименьшее показание

% F.S.

0,01

Наименьшее рекомендуемое показание

% F.S.

0,05

Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление

% F.S.

0,5

Температура

Эксплуатация (окружающая среда)

Прогрев (фланец)3

Хранение

°C

+5 ... +50

<110

–40 ... +65

Напряжение питания

В, пост. ток

14 ... 30

Потребляемая мощность

Вт

≤1

Выходной сигнал (аналоговый)

В, пост. ток

0 ... +10

Уставка(4)

Контакт реле

Гистерезис

 

В/А, пост. Ток

% F.S.

2 уставки (SP1, SP2)

30 / ≤0.5

1

Степень защиты

IP 30

Стандарты

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, RoHS

Электрическое подключение

D-sub, 15-контактный, вилка

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L(5))

 

1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации 
2) Увеличение 10 … 90% F.S. 
3) Только для типа «контроль давления» 
4) Не во время работы 
5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

 

Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)

Диапазон измерения

F.S. (предел показаний)

торр

Па

мбар

-

110,000

1100

200

26,664

267

-

10,000

100

20

2,666

26,7

-

1,000

10

-

100

1

0,25

33,3

0,33

-

10

0,1

Точность(1)

% от показания

0,2

0,25

0,5

Тепловой эффект

Нуль

 

% F.S./°C

 

0,005

 

0,015

 

0,2

 

0,2

 

Диапазон

% от показания/°C

0,01

0,01

0,03

0,03

Давление, макс.

кПа (абс.)

236

260

260

260

260

260

130

130

Разрешающая способность

% F.S.

0,003

Время отклика(2)

мс

30

130

130 / 30 (3)

 

1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации 
2) Увеличение 10 … 90% F.S. 
3) Только для типа «контроль давления» 
Другие характеристики см. в таблице выше

Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений: 
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение 
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов 
- Промышленное вакуумное оборудование 
- Высокоточное измерение давления

Отправить заявку

 
  • GOORUI
  • INFICON
  • EVP
  • Longtech
  • dooVAC
  • Simuwu
  • HYDRO-VACUUM

© 2015 «СК Трейдинг Групп» Все права защищены