Изготовление солнечных элементов из поликристаллического кремния

Поликристаллический кремний, фотоэлектрический материал из поликристаллического кремния, является особенным видом поликристаллического кремния, для получения которого необходимо сверхвысокое давление в печи и испарения менее 1 Па, вакуумным устройством является двухроторный насос Рутса и одноступенчатый плунжерный вакуумный насос, вакуумная система серии ZJP2H в основном применяется для плавления поликристаллического кремния, давление устройства может достигать 1 x10-2 Па. Из-за того, что заводы по производству поликристаллического силикона имеют в десять, а то и сто раз больше допустимого количества печей в пределах цеха с замкнутым кондиционированием воздуха, требования к вибрации и шуму вакуумных устройств очень жесткие, кроме того вакуумное устройство должно обеспечивать 60 часов непрерывной безаварийной работы.

В процессе осаждения поликристаллического кремния PEVCD (осаждение химического пара, обогащенного плазмой), в качестве катализатора применяется активность электронов в плазме, с помощью эффекта свечения. Эффект свечения проявляется в состоянии высокого вакуума под высоким напряжением постоянного тока, с помощью методов возбуждения инертных газов, например аргон, для получения активных электронов. Применение вакуумного насоса оправдано.

Двухроторный вакуумный насос Рутса характеризуется малым весом, низким шумом, отсутствием вибраций, высокой надежностью, поэтому часто такие насосы соответствуют требованиям производителей.

Вообще говоря, для получения высоковакуумной очистки нужен цикл работ в области разницы давлений вакуумного насосного агрегата для осуществления выделения. Типовое высоковакуумная установка - это обычно соединенные двухроторный вакуумный насос Рутса и плунжерный насос для формирования, высоковакуумных насосов, таких как турбомолекулярный вакуумный насос, криогенный насос, и форвакуумных насосов, таких как когтевой безмасляный насос, двухроторный насос Рутса, винтовой насос, плунжерный насос, диафрагменный насос и т.д.

Высоковакуумная установка не только учитывает рабочее давление всех видов вакуумных насосов, соединительных трубопроводов, клапанов и вакуумметров, но также и вспомогательных элементов, которые значительно повышают стоимость системы. Дополнительными потребностями для системы высокого вакуума являются минимум три клапана и байпасная линия. На заводах по производству поликристаллического кремния насосы различной степени вакуума устанавливаются в цехе перед следующим уровнем, что значительно увеличивает потери скорости откачки форвакуумного насоса, поэтому необходимо выбирать дорогой насос высокой производительности. Кроме того, в некоторых современных промышленных областях применения вакуума, таких как изготовление солнечных элементов, производство полупроводниковых устройств, точного лабораторного оборудования и т.д., использование вакуумных насосов невозможно из-за больших размеров, трудностей с эксплуатацией, уменьшения эффективности процесса, влияния на ход процесса.

Для уменьшения стоимости оборудования в вакуумной системе, используется высокий вакуум для поддержания чистоты оборудования, простоты и минимизации, который можно получить с помощью встроенных атмосферных вакуумных насосов.

roots piston systemq.jpgrotary.jpg


© 2015 «СК Трейдинг Групп» Все права защищены