Категории
VDF небольшая монокристаллическая печь / печь направленной кристаллизации
VDF небольшая монокристаллическая печь / печь направленной кристаллизации

VDF небольшая монокристаллическая печь / печь направленной кристаллизации

VDF небольшая монокристаллическая печь / печь направленной кристаллизации описание изделия:
1.Назначение печи

VDF небольшая монокристаллическая печь / печь направленной кристаллизации предназначена для производства слитков монокристаллов карбида кремния, диаметр монокристалла 2 дюйма и 3 дюйма, печи для 2 дюймовых слитков называются THG2, для 3 дюймовых слитков называются THG3.

Производитель: Simuwu
Отправить заявку
г. Киев, ул. Оранжерейная, 3, оф. 212
+38 (044) 227 - 40 - 20, +38 (050) 332 - 73 - 17

2. Состав печи:

Вакуумная камера, вакуумная система, система сброса давления, система подвижных механизмов, система движения тигля, система нагрева, система газовых трактов, система охлаждения, аварийная система, тигельное устройство, система управления.

3. Вакуумная камера изготовлена из 1Cr18Ni9Ti, водяное охлаждение, вертикальный тип, фланцы сверху.

4. Система перемещения камеры

Камера может двигаться в верх, в низ и вращаться, управление платформой с помощью серво-мотора, скорость передвижения контролируется механизмом привода медленно-быстро. Скорость вращения непрерывно регулируется.

5. Система перемещения тигля

Тигель может двигаться в верх, в низ и вращаться, управление платформой с помощью серво-мотора, скорость передвижения контролируется механизмом привода медленно-быстро. Скорость вращения непрерывно регулируется.

6. Вакуумная система

Применяется турбомолекулярная насосная система, предельная степень вакуума (в холодном состоянии) ≤3 X10-5 Па

7. Один комплект системы разгерметизации, контролируемый компьютерной системой.

8. Нагревательная система

Используется нагреваемый графитовый тигель, максимальная температура 2500⁰С

9. Система газовых труб

Качество датчиков расхода соответствует

10. Аварийная система

Защищает оборудование для обеспечения безопасности и нормального использования; превышение температуры, давления воды, давления газа, разрыв термопары вызывает сигнал тревоги и защиту.

11. Система управления

Сенсорный экран с PLD системой управления, она имеет функции контроля и защиты параметров процесса и функции записи. Печь контролирует PLC, система позволяет осуществлять программируемый процесс работы, функции защиты и сигнализации. При нештатной ситуации, она может автоматически диагностировать неисправности и принимать соответствующие меры. Система может регистрировать параметры процесса, имеются функции копирования, поиска, ОС системы – Windows.

Отправить заявку

 
  • GOORUI
  • INFICON
  • EVP
  • Longtech
  • dooVAC
  • Simuwu
  • HYDRO-VACUUM

© 2015 «СК Трейдинг Групп» Все права защищены