ПРИЛАДИ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ГАРЯЧОЇ ІОНІЗАЦІЇ
BAG402
Манометр для вимірювання вакууму від середнього до надвисокого рівня
Одноелектродний іонізаційний манометр Байярда-Альперта INFICON BAG402 забезпечує широкий діапазон вимірювання — від 5×10⁻¹⁰ мбар до 2.7×10⁻² мбар (від 3.75×10⁻¹⁰ Торр до 5×10⁻² Торр). Обирайте INFICON BAG402 для доступного та стабільного вимірювання базового тиску в компактному активному корпусі манометра.
Подвійна нитка розжарення забезпечує високу точність, стабільність і довговічність вимірювань.
Переваги:
- Діапазон вимірювання від 5×10 −10 мбар до 2.7×10 −2 мбар (3.75×10 −10 Торр до 5×10 −2 Торр)
- Відмінна відтворюваність у робочому діапазоні тиску від 10⁻⁸ до 10⁻² мбар – 5%
- Виявлення перевищення тиску захищає нитку розжарення від передчасного перегорання
- Дві довговічні нитки з іридію, покриті оксидом ітрію
- Автоматичний вибір струму емісії зменшує складність керування
- Легкозамінний вимірювальний елемент із вбудованими калібрувальними даними забезпечує високу відтворюваність
- Відповідає вимогам RoHS
Сфери застосування:
- Вимірювання тиску в напівпровідникових процесах та камерах перенесення
- Промислове нанесення покриттів
- Загальне вимірювання та контроль вакууму в системах низького та надвисокого вакууму