ПРИЛАДИ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ГАРЯЧОЇ ІОНІЗАЦІЇ

BCG450

Потрійний манометр для вимірювання від атмосферного тиску до надвисокого вакууму

Манометр INFICON Bayard-Alpert Pirani з ємнісним датчиком (TripleGauge®), BCG450, поєднує переваги трьох різних технологій в одному компактному та економічному корпусі для вимірювання технологічного та базового тиску в діапазоні від 5×10⁻¹⁰ до 1500 мбар (від 3.75×10⁻¹⁰ до 1125 Торр).

BCG450 призначений як заміна трьом датчикам (іонізаційного з гарячим катодом, Пірані з конвекційним підсиленням та вакуумного вимикача), що дозволяє знизити витрати і заощадити місце в робочому просторі.

Також доступний із цифровим інтерфейсом PROFINET.

Переваги:

• BCG450 заощаджує кошти та місце для інструментів, а також зменшує складність встановлення й налаштування системи вакуумного вимірювання
• Незалежне від типу газу вимірювання тиску вище 10 Торр забезпечує надійніше керування шлюзовою камерою для будь-якої газової суміші
• Блокування за показником Пірані захищає нитку розжарення від передчасного вигоряння
• Автоматичне налаштування Пірані для високого вакууму зменшує потребу у втручанні оператора
• Вимірювання диференціального тиску на атмосферному рівні усуває невизначеність, пов’язану зі змінами атмосферного тиску
• Легкозамінний чутливий елемент з вбудованими калібрувальними даними забезпечує відтворюваність
• Доступні опційний графічний дисплей і інтерфейси Fieldbus
• Відповідає вимогам RoHS

Сфери застосування:

• Вимірювання тиску в напівпровідникових процесах, камерах перенесення та завантаження
• Промислове нанесення покриттів
• Загальне вимірювання та контроль вакууму в системах низького та надвисокого вакууму