ПРИЛАДИ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ГАРЯЧОЇ ІОНІЗАЦІЇ

BPG400

Манометр для вимірювання від атмосферного тиску до надвисокого вакууму

Комбінований датчик INFICON Bayard-Alpert Pirani BPG400 поєднує в собі два типи вимірювальних приладів в одному компактному корпусі та здійснює вимірювання в діапазоні від 5×10⁻¹⁰ мбар до атмосферного тиску (від 3.8×10⁻¹⁰ Торр до атмосферного тиску).

Поєднання технологій зменшує складність монтажу, налаштування та інтеграції. Оберіть BPG400 для доступних і повторюваних вимірювань базового тиску в одному економічному пакеті.

Переваги:

• Надзвичайно широкий діапазон вимірювання: від 5×10⁻¹⁰ мбар до атмосферного тиску (від 3.8×10⁻¹⁰ Торр до атмосферного тиску)
• Відмінна відтворюваність у робочому діапазоні тиску від 10⁻⁸ до 10⁻² мбар – 5%
• Блокування Pirani захищає систему Байярда-Альперта від передчасного перегорання нитки розжарювання та надмірного забруднення під час роботи при високому тиску
• Довговічна нитка розжарювання з іридію, покрита оксидом ітрію
• Доступний графічний дисплей та інтерфейси Fieldbus
• Автоматичне налаштування вакуумного датчика Pirani зменшує потребу у втручанні оператора
• Відповідає вимогам RoHS
• Загальне вимірювання та контроль вакууму в діапазоні від низького до надвисокого вакууму

Сфери застосування:

• Вимірювання тиску в напівпровідникових процесах та камерах перенесення
• Промислове нанесення покриттів
• Загальне вимірювання та контроль вакууму в системах низького та надвисокого вакууму