ПРИЛАДИ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ГАРЯЧОЇ ІОНІЗАЦІЇ

BPG402-Sx

Манометр для вимірювання від атмосферного тиску до надвисокого вакууму

Комбінований вимірювач тиску INFICON Bayard-Alpert Pirani, модель BPG402-S, виконує функції двох приладів в одному компактному корпусі, забезпечуючи вимірювання в діапазоні від 5×10⁻¹⁰ мбар до атмосферного тиску (від 3.8×10⁻¹⁰ Торр до атмосферного тиску).

Поєднання технологій зменшує складність встановлення, налаштування та інтеграції. Оберіть модель BPG402-S з двома іридієвими нитками, покритими оксидом ітрію, для доступного та стабільного вимірювання тиску аж до базового рівня — усе в одному економічному рішенні. Чутливі елементи з вбудованими калібрувальними даними забезпечують високу відтворюваність при заміні сенсорів.

Також доступна версія з цифровим інтерфейсом EtherCAT!

Переваги:

• Надзвичайно широкий діапазон вимірювання: від 5×10⁻¹⁰ мбар до атмосферного тиску (від 3.8×10⁻¹⁰ Торр до атмосферного тиску)
• Відмінна відтворюваність у робочому діапазоні тиску від 10⁻⁸ до 10⁻² мбар – 5%
• Механізм блокування Pirani запобігає передчасному перегоранню нитки розжарення
• Дві довговічні іридієві нитки з покриттям з оксиду ітрію
• Опціонально доступні графічний дисплей та інтерфейси Fieldbus
• Автоматичне налаштування Pirani для високого вакууму мінімізує потребу у втручанні оператора
• Змінний сенсорний елемент з вбудованими калібрувальними даними забезпечує високу повторюваність вимірювань
• Відповідає вимогам RoHS

Сфери застосування:

• Вимірювання тиску в напівпровідникових процесах та камерах перенесення
• Промислове нанесення покриттів
• Загальне вимірювання та контроль вакууму в системах низького та надвисокого вакууму