ПРИЛАДИ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ГАРЯЧОЇ ІОНІЗАЦІЇ
HPG400
Манометр для вимірювання від атмосферного тиску до надвисокого вакууму
Високонапірний манометр гарячої іонізації Пірані INFICON HPG400 поєднує в собі датчики гарячої іонізації високого тиску і Пірані в одному компактному, економічному корпусі для вимірювання тиску від 2×10-6 мбар до атмосферного (1,5×10-6 Торр до атмосферного).
HPG400 забезпечує високу повторюваність та відтворюваність вимірювань тиску для точного контролю тиску в процесах розпилення.
Переваги:
- HPG400 економить витрати і місце для встановлення інструменту, а також зменшує складність встановлення та налаштування вакуумної системи
- Високовакуумний іонізаційний манометр забезпечує точні та надійні вимірювання тиску в діапазоні від 1×10−5 до 1 мбар для покращеного контролю процесу
- Користувач може вибирати активацію термоелектронної емісії в діапазоні від 5×10−2 до 1 мбар
- Блокування за показником Пірані захищає нитку розжарення від передчасного вигоряння
- Доступні опційний графічний дисплей і інтерфейси Fieldbus
- Автоматичне налаштування Пірані для високого вакууму зменшує потребу у втручанні оператора
- Відповідає вимогам RoHS
Сфери застосування:
- Розпилення у напівпровідниковому виробництві, електронній та медійній промисловості
- Промислове нанесення покриттів
- Загальне вимірювання та контроль вакууму в системах низького та надвисокого вакууму
