Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3
- Код товара: CDG025D-X3
- Доступность: На складе
Мембранно-ёмкостные вакуумметры INFICON серии SKY CDG025D - это высокоточные манометры с компенсацией температурных воздействий, которые созданы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования.
ПЕРЕД ЗАКАЗОМ ОЗНАКОМЬТЕСЬ С ТЕХНИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ ТОВАРА, ПЕРЕЙДЯ ВО ВКЛАДКУ "ХАРАКТЕРИСТИКИ"
Теги: мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY, мембранно-емкостные вакуумметры SKY
Предназначение
Мембранно-ёмкостные вакуумметры INFICON серии SKY CDG025D - это высокоточные манометры с компенсацией температурных воздействий, которые созданы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования.
Краткое описание
Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики вакуумметра и упрощает управление им, например путем задания уставки и установки нуля нажатием одной кнопки. Конструкция датчика из коррозионностойкой сверхчистой керамики обеспечивает превосходную стабильность нуля на протяжении длительного срока службы – не менее 7 миллионов циклов изменения давления, допуская даже прорыв атмосферного воздуха. Уникальное экранирование датчика (подана заявка на патент) защищает вакуумметр от загрязнения технологической средой. Надёжная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долговременную стабильность и компенсацию температурных воздействий. Модель CDG025D задаёт новые стандарты быстроты для установления стабильного режима после подачи питания и восстановления после прорыва атмосферного воздуха.
Преимущества и отличия
- Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр
- Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания
- Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха
- Коррозионностойкий керамический датчик
- Превосходная долговременная стабильность сигнала
- Компенсация температурных воздействий
- Двойная защита датчика от загрязнения
- Установка нуля нажатием одной кнопки
- Широкий диапазон источников питания
- 2 уставки
- Интерфейс RS232
- Пригоден для эксплуатации в чистом помещении
Области применения
Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений:
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
- Промышленное вакуумное оборудование
- Высокоточное измерение давления
Почему мы?
- Мы осуществляем официальные поставки оборудования в Украину
- Гарантия: 12 месяцев. Предоставляем гарантийное и послегарантийное (сервисное) обслуживание
- Оптимальное соотношение цены и качества
Цена, условия оплаты и доставки / Алгоритм работы
- Оставляете заявку на нашем сайте
- Мы связываемся с Вами в течении 3-х часов рабочего дня
- Наш менеджер консультирует Вас по выбранной Вами продукции
- Вы оформляете заказ
Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1) | Торр, Па, Мбар | 1000 133,322 1333 | 100 13,332 133 | 10 1,333 13,3 | 1 133 1,3 | 0,1 13 0.13 |
Точность | % от показания | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,5 |
Тепловой эффект Нуль Диапазон |
% F.S./°C % от показания/°C |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,015 0,01 |
0,02 0,03 |
Разрешающая способность | % F.S. | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
Давление, макс. | кПа (абс.) | 400 | 260 | 260 | 260 | 130 |
Время отклика(2) | мс | 30 | 30 | 30 | 30 | 130/30(3) |
Наименьшее показание | % F.S. | 0,01 | ||||
Наименьшее рекомендуемое показание | % F.S. | 0,05 | ||||
Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление | % F.S. | 0,5 | ||||
Температура Эксплуатация (окружающая среда) Прогрев (фланец)3 Хранение | °C | +5 ... +50 <110 –40 ... +65 | ||||
Напряжение питания | В, пост. ток | 14 ... 30 | ||||
Потребляемая мощность | Вт | ≤1 | ||||
Выходной сигнал (аналоговый) | В, пост. ток | 0 ... +10 | ||||
Уставка(4) Контакт реле Гистерезис |
В/А, пост. Ток % F.S. | 2 уставки (SP1, SP2) 30 / ≤0.5 1 | ||||
Степень защиты | IP 30 | |||||
Стандарты | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, RoHS | |||||
Электрическое подключение | D-sub, 15-контактный, вилка | |||||
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума | Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L(5)) |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
4) Не во время работы
5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний) | торр Па мбар | - 110,000 1100 | 200 26,664 267 | - 10,000 100 | 20 2,666 26,7 | - 1,000 10 | - 100 1 | 0,25 33,3 0,33 | - 10 0,1 |
Точность(1) | % от показания | 0,2 | 0,25 | 0,5 | |||||
Тепловой эффект | |||||||||
Нуль
| % F.S./°C
| 0,005
| 0,015
| 0,2
| 0,2
| ||||
Диапазон | % от показания/°C | 0,01 | 0,01 | 0,03 | 0,03 | ||||
Давление, макс. | кПа (абс.) | 236 | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | 130 | 130 |
Разрешающая способность | % F.S. | 0,003 | |||||||
Время отклика(2) | мс | 30 | 130 | 130 / 30 (3) |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
Другие характеристики см. в таблице выше
Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений:
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
- Промышленное вакуумное оборудование
- Высокоточное измерение давления
Вы смотрели
Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3
Предназначение Мембранно-ёмкостные вакуумметры INFICON серии SKY CDG025D - эт..