UL 6000 Fab
|
Мін. виявлений рівень течі гелію (вакуумний метод) |
мбар∙л/с |
<5∙10-12 |
|
Мін. виявлений рівень течі гелію (щупом) |
мбар∙л/с |
<5∙10-8 |
|
Макс. тиск на вході (режим MASSIVE) |
атм (~1013 мбар) |
|
|
Тип чорнового насоса |
двороторний насос |
|
|
Макс. швидкість перекачування чорнового насоса |
м³/год |
>36 |
|
Швидкість перекачування на вході (100-1000 мбар) |
м³/год |
23 |
|
Швидкість перекачування на вході (10-100 мбар та 1-10 мбар) |
м³/год |
26 |
|
Макс. швидкість перекачування гелію (режим ULTRA) |
л/с |
>36 |
|
Максимальна швидкість перекачування гелію з ДУ63 до ДУ40 |
л/с |
~ 30 |
|
Чар реакції на 50 л |
с |
1.4 |
|
Час відкачки на 1 мбар 50 л |
с |
52 |
|
Час відкачки на 1 мбар 100 л* |
с |
104 |
|
Час відкачки на 1 мбар 500 л* |
с |
527 |
|
Час відкачки на 1 мбар 1000 л* |
с |
1054 |
|
Вентилювання 50 л в атм. 16 с |
с |
16 |
|
Час запуску для роботи |
хв |
<2 |
|
Час калібрування |
с |
<30 с |
|
Вхідний клапан |
ДУ63 ISO-K |
|
|
Гази для визначення (сенсорна технологія ULTRATEST) |
2,3,4 (H2, 3He, He) |
|
|
Напруга живлення |
В |
100 до 230, 50/60 Гц |
|
Макс. енергоспоживання |
ВА |
1500 |
|
Звич. енергоспоживання |
ВА |
700 |
|
Вага |
кг |
143 |
|
Розміри (ДxШxВ) |
мм |
1050x427x1040 |
|
*екстрапольовано |
UL 6000 Fab PLUS
|
Мін. виявлений рівень течі гелію (вакуумний метод) |
мбар∙л/с |
<5∙10-12 |
|
Мін. виявлений рівень течі гелію (щупом) |
мбар∙л/с |
<5∙10-8 |
|
Макс. тиск на вході (режим MASSIVE) |
атм (~1013 мбар) |
|
|
Тип чорнового насоса |
двороторний насос |
|
|
Макс. швидкість перекачування чорнового насоса |
м³/год |
>36 |
|
Швидкість перекачування на вході (100-1000 мбар) |
м³/год |
23 |
|
Швидкість перекачування на вході (10-100 мбар та 1-10 мбар) |
м³/год |
26 |
|
Макс. швидкість перекачування гелію (режим ULTRA) |
л/с |
>36 |
|
Максимальна швидкість перекачування гелію з ДУ63 до ДУ40 |
л/с |
~ 30 |
|
Чар реакції на 50 л |
с |
1.4 |
|
Час відкачки на 1 мбар 50 л |
с |
52 |
|
Час відкачки на 1 мбар 100 л* |
с |
104 |
|
Час відкачки на 1 мбар 500 л* |
с |
527 |
|
Час відкачки на 1 мбар 1000 л* |
с |
1054 |
|
Вентилювання 50 л в атм. 16 с |
с |
16 |
|
Час запуску для роботи |
хв |
<2 |
|
Час калібрування |
с |
<30 с |
|
Вхідний клапан |
ДУ63 ISO-K |
|
|
Гази для визначення (сенсорна технологія ULTRATEST) |
2,3,4 (H2, 3He, He) |
|
|
Напруга живлення |
В |
100 до 230, 50/60 Гц |
|
Макс. енергоспоживання |
ВА |
1500 |
|
Звич. енергоспоживання |
ВА |
700 |
|
Вага |
кг |
143 |
|
Розміри (ДxШxВ) |
мм |
1050x427x1040 |
|
*екстрапольовано |
