Вакуумные диффузионные паромасляные насосы разработаны для удовлетворения потребностей в высоком вакууме промышленности и исследовательских лабораторий. Превосходная быстрота действия диффузионных насосов позволяет использовать их в вакуумных печах, в вакуумных установках для нанесения покрытий линз, в установках по нанесению тонкоплёночных покрытий и в других промышленных целях. Эти вакуумные насосы способны достигать давлений порядка 10-6 - 10-7 мбар.

 

Диффузионный паромасляный вакуумн​ый насос имеет водоохлаждаемый металлический корпус в виде цилиндра с глухим днищем, в которое вставлены паропроводы с соплами. Рабочую жидкость заливают в насос, и она подогревается электрическим нагревателем. Пары жидкости поднимаются по паропроводам к соплам, выходят через них в объем насоса, конденсируются на стенках, и образующийся конденсат по стенкам стекает вниз и вновь попадает в кипятильник.

 

В результате постоянного испарения и конденсации рабочей жидкости между паропроводами и объемом насоса поддерживается значительный перепад давлений. Вследствие этого, а также вследствие специальной конструкции сопел пар истекает в объем корпуса насоса со сверхзвуковой скоростью. Молекулы откачиваемого газа диффундируют в струю пара, при соударении с более тяжелыми частицами пара получают направленное движение вниз и к стенкам корпуса и скапливаются в зоне конденсации пара. Там они увлекаются в движение следующей ступенью откачки, последовательно сжимаются каждой ступенью, пока не попадут в зону действия механического насоса и удалятся из диффузионного вакуумного насоса.