ЄМНІСНІ МАНОМЕТРИ

Edge® CDG100D2

Контроль температури 100°C, діапазон вимірювання: 1... 1000 Торр / мбар

Високоточний ємнісний діафрагмовий вакуумметр INFICON Edge CDG100D2 розроблений спеціально для роботи в складних виробничих умовах.

Високоякісний надчистий керамічний датчик з температурною компенсацією, стійкий до корозії, забезпечує відмінну точність вимірювання впродовж багатьох років у поєднанні з найсучаснішою нульовою стабільністю. Прилад Edge обладнано запатентованим компанією INFICON унікальним захисним екраном датчика, який запобігає потраплянню на нього небажаних технологічних викидів. Вдосконалена електроніка пропонує широкий спектр конфігурованих схем обробки сигналів для всіх застосувань з інтерфейсом промислової мережі EtherCAT.

Інноваційна концепція нагрівання забезпечує прохолодну на дотик поверхню та економить цінний простір у приладі. INFICON Edge – це найменший вакуумний вимірювальний прилад у своєму класі.

Переваги:

• Компактний, заощаджує цінний простір для інструментів
• Проста установка, інтерфейс EtherCAT, широкий вибір діапазонів вимірювання та фланців, стандартна комплектація з двома заданими значеннями
• Просте обнулення за допомогою кнопки або дистанційного сигналу, налаштування зсуву нуля
• Діагностичний порт для швидкого обслуговування та технічної підтримки
• Гарантія два роки, триваліший термін служби завдяки вдосконаленій системі нагріву та захисту датчика
• Не потребує повторного калібрування впродовж тривалого часу завдяки відмінній стабільності сигналу та повторюваності, навіть у складних умовах плазмових застосувань
• Відповідає стандартам та нормам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Сфери застосування:

• Процеси хімічного осадження з парової фази (CVD), мікрообробки, фізичного осадження з парової фази (PVD), та інші процеси виробництва напівпровідників