Вакуумная установка для нанесения покрытия

Вакуум иммет решающее значение в большинстве процессов нанесения покрытия, при которых металл, пластик или стекло осаждаются в форме пара. Во многих случаях такие процессы невозможны без вакуума. В начале процесса камера вакуумируется до среднего или высокого вакуума и, благодаря этому, извлекаются газы или выпариваются твердые материалы. Все эти процессы выполняются с помощью вакуумных установок для напыления. Обычно такие установки состоят из четырех частей:

1.Вакуумная камера – основная часть

Вакуумная камера изготовлена из коррозионностойкой и прочной нержавеющей стали. Каждая из её частей соединена с вакуумным насосом с помощью соединительных клапанов.

2.Вакуумные системы – дополнительные системы выпуска

Эта система является важной частью вакуумного оборудования для нанесения покрытия, она включает механические насосы, бустерные насосы (двухроторные вакуумные насосы Рутса) и паромаслянные диффузионные насосы.

Механические насосы также называют форвакуумными насосами, к ним относятся: плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы, пластинчато-ротационные вакуумные насосы, поршневые вакуумные насосы и т.д. Принцип работы механических насосов применяется для поддержания герметичности за счет изменения объема камеры, что приводит к постепенному расширению газов в контейнере, и получению необходимой степени разрежения.

Бустерные насосы также называются двухроторные насосы Рутса. Такие насосы не могут применяться отдельно, они используются в качестве бустеров совместно с форвакуумными насосами, например, механическими насосами.

Для высокого вакуума мы предлагаем турбомолекулярные вакуумные насосы и паромаслянные диффузионные вакуумные насосы, которые совместно с форвакуумными насосами абсолютно подходят для процесса нанесения покрытия.

Паромаслянные диффузионные насосы имеют высокую скорость откачки, их рабочее давление от 10^-2 Па до 10^-5 Па, они просты в эксплуатации и долговечны.

3.Системы вакуумного покрытия – установки испарения

Установка испарения также называется прибором пленкообразования. Примеры: резистивный нагрев, напыление электронной пушкой, радиочастотное напыление, ионное осаждение и т.д.

Наша вакуумная технология EVP широко применяется для указанных ниже процессов:

Покрытие вакуумным испарением

Покрытие вакуумным напылением

Физическое вакуумное осаждение (PVD)

Химическое вакуумное осаждение (CVD)

Вакуумное покрытие методом плазменного распыления

Вакуумное покрытие металлом

4.Системы управления

Система управления состоит из трех частей: шкаф управления, трансформатор и пульт управления.

Единым требованием всех этих процессов является обеспечение средним или высоким вакуумом в камере, который необходим для нанесения покрытия. Такие процессы нанесения покрытия выполняются для изменения характеристик поверхности, таких как твердость или коррозионная стойкость. Вакуумные покрытия могут также применяться для улучшения адгезионных и смачивающих способностей материала или для обеспечения гидрофобных или гидрофильных свойств материала.

Наши вакуумные системы оснащены измерительными приборами для всех вакуумных процессов нанесения покрытия.