Вакуум має вирішальне значення в більшості процесів нанесення покриття, при яких метал, пластик або скло осаджуються у формі пари. У багатьох випадках такі процеси неможливі без вакууму. На початку процесу камера вакуумується до середнього або високого вакууму і завдяки цьому витягують гази або випаровують тверді матеріали. Всі ці процеси виробляються вакуумними установками для напилення. Зазвичай такі установки складаються із чотирьох частин:

1.Вакуумна камера - основна частина

Вакуумна камера виготовлена ​​з корозійностійкої та міцної нержавіючої сталі. Кожна її частина з'єднана з вакуумним насосом за допомогою з'єднувальних клапанів.

2.Вакуумні системи - додаткові системи випуску

Ця система є важливою частиною вакуумного обладнання для нанесення покриття, вона включає механічні насоси, бустерні насоси (двухроторні вакуумні насоси Рутса).  і паромасляні дифузійні насоси.

Механічні насоси також називають форвакуумними насосами, до них відносяться: плунжерні (золотникові) вакуумні насоси,  Пластинчасто-ротаційні вакуумні насоси, поршневі вакуумні насоси і т.д. Принцип роботи механічних насосів застосовується для підтримки герметичності за рахунок зміни об'єму камери, що призводить до поступового розширення газів у контейнері та отримання необхідного ступеня розрідження.

Бустерні насоси також називаються двороторні насоси Рутса. Такі насоси не можуть застосовуватися окремо, вони використовуються як бустери спільно з форвакуумними насосами, наприклад, механічними насосами.

Для високого вакууму ми пропонуємо турбомолекулярні вакуумні насоси ы паромасляні дифузійні вакуумні насоси, які спільно з форвакуумними насосами абсолютно підходять для процесу нанесення покриття.

Паромасляні дифузійні насоси мають високу швидкість відкачування, їх робочий тиск від 10^{- 2} Па до 10^-5 Па, вони прості в експлуатації та довговічні.

3.Системи вакуумного покриття – встановлення випаровування

Установка випаровування також називається приладом плівкоутворення. Приклади: резистивне нагрівання, напилення електронною гарматою, радіочастотне напилення, іонне осадження тощо.

Наша вакуумна технологія EVP широко застосовується для наведених нижче процесів:

• Покриття вакуумним випаровуванням
• Покриття вакуумним напиленням
• Фізичне вакуумне осадження (PVD)
• Хімічне вакуумне осадження (CVD)
• Вакуумне покриття методом плазмового розпилення
• Вакуумне покриття металом

4.Системи керування

Система керування складається з трьох частин: шафа керування, трансформатор та пульт керування.

Єдиною вимогою всіх цих процесів є забезпечення середнім або високим вакуумом камери, який необхідний для нанесення покриття. Такі процеси покриття виконуються для зміни характеристик поверхні, таких як жорсткість або корозійна стійкість. Вакуумні покриття можуть також застосовуватися для покращення адгезійних та змочувальних здібностей матеріалу або для забезпечення гідрофобних або гідрофільних властивостей матеріалу.

Наші вакуумні системи оснащені вимірювальними приладами для всіх вакуумних процесів покриття.