ЄМНІСНІ МАНОМЕТРИ

SKY® CDG025D

Діапазон вимірювання: 0,1 ... 1000 Торр / мбар

Лінійка ємнісних діафрагмових манометрів з температурною компенсацією INFICON SKY CDG025D призначені для стабільної роботи в суворих умовах виробничого обладнання.

Сучасна цифрова електроніка покращує характеристики приладу та забезпечує зручність у використанні, зокрема функцію обнулення одним натисканням кнопки та налаштування точки спрацьовування. Корозійностійкий керамічний датчик забезпечує відмінну стабільність нульового значення та має тривалий термін служби — кілька мільйонів циклів тиску, включно з атмосферними стрибками. Унікальний екран датчика (патент на розгляді) захищає прилад від забруднення в процесі експлуатації.

Надійна механічна конструкція та цифрова електроніка покращують електромагнітну сумісність (EMC), довготривалу стабільність і температурну компенсацію. CDG025D встановлює нові стандарти швидкої стабілізації після вмикання живлення та швидкого відновлення після впливу атмосферного тиску.

Переваги:

• Діапазони вимірювання від 100 мТорр ... 1000 Торр
• Швидка стабілізація після ввімкнення
• Швидке відновлення після атмосферного тиску
• Корозійностійкий керамічний сенсор
• Відмінна довготривала стабільність сигналу
• Температурна компенсація
• Сенсор захищений від забруднення
• Функція обнулення однією кнопкою
• Широкий діапазон живлення

Сфери звстосування

• Обладнання для виробництва напівпровідників для процесів мікрообробки, хімічного осадження з парової фази (CVD), фізичного осадження з парової фази (PVD), атомно-шарового осадження (ALD)
• Обладнання для виробництва носіїв даних та дисплеїв
• Промислове вакуумне обладнання
• Загальне високоточне вимірювання тиску