ЄМНІСНІ МАНОМЕТРИ
SKY® CDG025D
Діапазон вимірювання: 0,1 ... 1000 Торр / мбар
Лінійка ємнісних діафрагмових манометрів з температурною компенсацією INFICON SKY CDG025D призначені для стабільної роботи в суворих умовах виробничого обладнання.
Сучасна цифрова електроніка покращує характеристики приладу та забезпечує зручність у використанні, зокрема функцію обнулення одним натисканням кнопки та налаштування точки спрацьовування. Корозійностійкий керамічний датчик забезпечує відмінну стабільність нульового значення та має тривалий термін служби — кілька мільйонів циклів тиску, включно з атмосферними стрибками. Унікальний екран датчика (патент на розгляді) захищає прилад від забруднення в процесі експлуатації.
Надійна механічна конструкція та цифрова електроніка покращують електромагнітну сумісність (EMC), довготривалу стабільність і температурну компенсацію. CDG025D встановлює нові стандарти швидкої стабілізації після вмикання живлення та швидкого відновлення після впливу атмосферного тиску.
Переваги:
- Діапазони вимірювання від 100 мТорр ... 1000 Торр
- Швидка стабілізація після ввімкнення
- Швидке відновлення після атмосферного тиску
- Корозійностійкий керамічний сенсор
- Відмінна довготривала стабільність сигналу
- Температурна компенсація
- Сенсор захищений від забруднення
- Функція обнулення однією кнопкою
- Широкий діапазон живлення
Сфери звстосування
- Обладнання для виробництва напівпровідників для процесів мікрообробки, хімічного осадження з парової фази (CVD), фізичного осадження з парової фази (PVD), атомно-шарового осадження (ALD)
- Обладнання для виробництва носіїв даних та дисплеїв
- Промислове вакуумне обладнання
- Загальне високоточне вимірювання тиску
