ЄМНІСНІ МАНОМЕТРИ

SKY® CDG100D

Контроль температури 100°C, діапазон вимірювання: 0,1... 1000 Торр / мбар

Манометри INFICON SKY CDG100D є вашим найкращим вибором для високоточного вимірювання та контролю загального тиску.

Манометри CDG100D термостабілізовані при температурі 100 °C для забезпечення чудової продуктивності у вимогливих напівпровідникових та плазмових процесах. Вони доступні для повних діапазонів вимірювання від 100 мТорр до 1000 Торр, з усіма типами фланців та інтерфейсами промислових мереж, і забезпечують лінійний вихідний сигнал тиску від 0 до 10 В, незалежний від типу газу. У ємнісних манометрах INFICON використовується ультрачиста керамічна мембрана з оксиду алюмінію, яка є корозійностійкою.

Перевагами керамічного сенсора є краща стабільність сигналу, швидше відновлення після атмосферного тиску, короткий час прогріву та тривалий термін служби. INFICON CDG – це високоякісні та економічно вигідні датчики тиску для вимогливих вакуумних застосувань.

Також доступні з цифровим інтерфейсом PROFINET®.

Переваги:

• Знижена вартість володіння, на 50% швидший розігрів, низьке енергоспоживання
• Легка інтеграція, широкий вибір вимірювальних шкал, фланців та інтерфейсів, стандартна комплектація з двома заданими точками
• Просте обнулення однією кнопкою або дистанційним сигналом, з можливістю регулювання зсуву нуля
• Діагностичний порт для швидкого обслуговування та ремонту
• Дворічна гарантія, довший термін служби завдяки покращеній концепції нагріву та захисту датчика
• Відсутність потреби у довгостроковому перекалібруванні завдяки відмінній стабільності та повторюваності сигналу, навіть у складних плазмових застосуваннях
• Відповідність стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Сфери застосування:

• Процеси мікрообробки, хімічного осадження з парової фази (CVD), фізичного осадження з парової фази (PVD), атомно-шарового осадження (ALD) та інші напівпровідникові виробничі процеси
• Хімічні та корозійні високотемпературні процеси
• Загальні процеси нанесення тонких плівок і вакуумні процеси, що потребують захисту манометрів