ЄМНІСНІ МАНОМЕТРИ
SKY® CDG100D
Контроль температури 100°C, діапазон вимірювання: 0,1... 1000 Торр / мбар
Манометри INFICON SKY CDG100D є вашим найкращим вибором для високоточного вимірювання та контролю загального тиску.
Манометри CDG100D термостабілізовані при температурі 100 °C для забезпечення чудової продуктивності у вимогливих напівпровідникових та плазмових процесах. Вони доступні для повних діапазонів вимірювання від 100 мТорр до 1000 Торр, з усіма типами фланців та інтерфейсами промислових мереж, і забезпечують лінійний вихідний сигнал тиску від 0 до 10 В, незалежний від типу газу. У ємнісних манометрах INFICON використовується ультрачиста керамічна мембрана з оксиду алюмінію, яка є корозійностійкою.
Перевагами керамічного сенсора є краща стабільність сигналу, швидше відновлення після атмосферного тиску, короткий час прогріву та тривалий термін служби. INFICON CDG – це високоякісні та економічно вигідні датчики тиску для вимогливих вакуумних застосувань.
Також доступні з цифровим інтерфейсом PROFINET®.
Переваги:
- Знижена вартість володіння, на 50% швидший розігрів, низьке енергоспоживання
- Легка інтеграція, широкий вибір вимірювальних шкал, фланців та інтерфейсів, стандартна комплектація з двома заданими точками
- Просте обнулення однією кнопкою або дистанційним сигналом, з можливістю регулювання зсуву нуля
- Діагностичний порт для швидкого обслуговування та ремонту
- Дворічна гарантія, довший термін служби завдяки покращеній концепції нагріву та захисту датчика
- Відсутність потреби у довгостроковому перекалібруванні завдяки відмінній стабільності та повторюваності сигналу, навіть у складних плазмових застосуваннях
- Відповідність стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Сфери застосування:
- Процеси мікрообробки, хімічного осадження з парової фази (CVD), фізичного осадження з парової фази (PVD), атомно-шарового осадження (ALD) та інші напівпровідникові виробничі процеси
- Хімічні та корозійні високотемпературні процеси
- Загальні процеси нанесення тонких плівок і вакуумні процеси, що потребують захисту манометрів
