Вакуумні дифузійні паромасляні насоси розроблені для задоволення потреб у високому вакуумі для промисловості та дослідницьких лабораторій. Чудова швидкість дії дифузійних насосів дозволяє використовувати їх в вакуумних печах, в вакуумних установках для нанесення покриттів лінз, в установках з нанесення тонкоплівкових покриттів і в інших промислових цілях. Ці вакуумні насоси здатні досягати тисків порядку 10-6 - 10-7 мбар.

Дифузійнийпаромасляний вакуумний насос має водоохолоджуваний металевий корпус у вигляді циліндра з глухим дном, в яке вмонтовані паропроводи з соплами. Робочу рідину заливають в насос, і вона підігрівається електричним нагрівачем. Пари рідини піднімаються по паропроводах до сопел, виходять через них в обсяг насоса, конденсуються на стінках, і утворюється конденсат, який по стінках стікає вниз і знову потрапляє в кип'ятильник.

В результаті постійного випаровування і конденсації робочої рідини між паропроводами і обсягом насоса підтримується значний перепад тисків. Внаслідок цього, а також внаслідок спеціальної конструкції сопел пар витікає в обсяг корпусу насоса з надзвуковою швидкістю. Молекули відкачуваного газу дифундують в струмінь пари, при зіткненні з більш важкими частинками пара отримують спрямований рух вниз до стінок корпусу й скупчуються в зоні конденсації пари. Там вони захоплюються в рух наступним етапом відкачування, послідовно стискаються кожною сходинкою, поки не потраплять в зону дії механічного насоса і виводяться з дифузійного вакуумного насоса.