Манометри Пірані

PPG550

Манометр для вимірювання від атмосферного тиску до середнього вакууму

Новий комбінований датчик INFICON Пірані П’єзо (PPG550) базується на найсучаснішій технології MEMS (мікроелектромеханічних систем).

Комбінована технологія Пірані/П'єзо, реалізована в технології MEMS, дає змогу створити компактний датчик, що дозволяє зменшити загальну висоту вимірювального пристрою.

Окрім переваги малої висоти, Пірані на основі MEMS-технології також мають перевагу точнішого й глибшого вимірювання у діапазоні високого вакууму (HV). У поєднанні з п'єзодатчиком MEMS, змонтованим у тій самій фланцевій основі, датчик Пірані стає справжнім вакуумним датчиком широкого діапазону, розширюючи діапазон вимірювання далеко за межі звичних 1000 мбар – аж до атмосферного тиску. Водночас п'єзодатчик MEMS забезпечує незалежне від типу газу вимірювання тиску в діапазоні 2 ... 1333 мбар. Ще однією перевагою згаданих технологій є підвищена стійкість до прискорень і вібрацій.

Не менш важливим є те, що новий INFICON PPG550 може використовуватися як пряма заміна так званих MKS910 “абсолютних п'єзоелектричних вакуумних датчиків тиску DualTrans™ MicroPirani™”, а також MKS925 “вакуумних датчиків тиску Micro Pirani™ ”. Inficon пропонує ті ж самі роз'єми/розташування контактів, аналоговий вихід та сумісність з RS232/485.

Переваги:

• Незалежність від типу газу при тиску понад 2 мбар – забезпечує безпечне відведення будь-якої газової суміші
• Висока точність і відтворюваність на атмосферному тиску – для надійного та швидкого визначення атмосферного тиску
• Універсальність у встановленні – забезпечує інженерну гнучкість у проєктуванні обладнання
• Вибір аналогового вихідного сигналу – для легкої інтеграції в систему
• Цифрові інтерфейси RS232 / RS485
• Відповідність нормам і стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS
• Може бути безпосередньою заміною для MKS910 “ абсолютних п'єзоелектричних вакуумних датчиків тиску DualTrans™ MicroPirani™”, а також MKS925 “ вакуумних датчиків тиску Micro Pirani™ ”.
• DualTrans™ MicroPirani™ є зареєстрованими торговими марками компанії MKS Instruments, Андавер, Массачусетс
• Відповідність нормам і стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Сфери застосування:

• Використання в аналітичному обладнанні/мас-спектрометрах
• Фізичне осадження з пари
• Вимірювання у форвакуумній лінії
• Заповнення газом (зворотне заповнення газом)