Манометри Пірані

PPG570

Манометр для вимірювання від атмосферного тиску до середнього вакууму + атмосферний перемикач

Новий комбінований датчик INFICON Пірані П’єзо (PPG550) базується на найсучаснішій технології MEMS (мікроелектромеханічних систем), який також використовується в манометрі для вимірювання від атмосферного тиску до середнього вакууму PPG550.

Відмінністю PPG570 від PPG550 є додатково встановлений датчик атмосферного тиску, який дозволяє використовувати PPG570 у класичних застосуваннях із шлюзовими камерами. Наприклад, у напівпровідниковій промисловості або в будь-яких інших вакуумних застосуваннях, де важливе точне вимірювання тиску відносно атмосферного тиску.

Комбінована технологія Пірані/П'єзо, реалізована в технології MEMS, дає змогу створити компактний датчик, що дозволяє зменшити загальну висоту вимірювального пристрою.

Окрім переваги малої висоти, Пірані на основі MEMS-технології також мають перевагу точнішого й глибшого вимірювання у діапазоні високого вакууму (HV). У поєднанні з п'єзодатчиком MEMS, змонтованим у тій самій фланцевій основі, датчик Пірані стає справжнім вакуумним датчиком широкого діапазону, розширюючи діапазон вимірювання далеко за межі звичних 1000 мбар – аж до атмосферного тиску. Водночас п'єзодатчик MEMS забезпечує незалежне від типу газу вимірювання тиску в діапазоні 2 ... 1333 мбар. Ще однією перевагою згаданих технологій є підвищена стійкість до прискорень і вібрацій.

Не менш важливим є те, що новий INFICON PPG570 може використовуватися як пряма заміна так званого MKS Instruments MKS901P “MicroPirani™ і п'єзонавантажувальний вакуумний тисковий перетворювач ”. PPG570 має ті самі роз’єми/призначення контактів, аналоговий вихід та сумісність із RS232/485.

Переваги:

• Незалежність від типу газу при тиску понад 2 мбар – забезпечує безпечне відведення будь-якої газової суміші
• Висока точність і відтворюваність на атмосферному тиску – для надійного та швидкого визначення атмосферного тиску
• Вимірювання атмосферного тиску навколишнього середовища
• Можливість підключення до 3 твердотільних реле
• Вибір аналогового вихідного сигналу – для легкої інтеграції в систему
• Цифрові інтерфейси RS232 / RS485
• Може безпосередньо замінити MKS901P «MicroPirani™ - п'єзонавантажувальний вакуумний тисковий перетворювач».
• Відповідність нормам і стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Сфери застосування:

• Застосування шлюзових камер у напівпровідниковій промисловості
• Використання в аналітичному обладнанні/мас-спектрометрах
• Фізичне осадження з пари